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气体MFC

产品简介

气体MFC是热式质量流量计。气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下简称MFC)可对气体的质量流量进行精密测量和控制。

产品型号:
更新时间:2024-11-07
厂商性质:生产厂家
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品牌其他品牌应用领域环保,化工,能源,电子,电气

气体MFC是热式质量流量计。气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下简称MFC)可对气体的质量流量进行精密测量和控制;应用领域:中流量,适用于材料科学、纳米传感器、环境科学及催化评价等研究。


产品特点(优势):

气体MFC具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使用,也可通过模拟/数字信号转换器(AD/DA转换器)配合计算机使用。


产品参数:  

产品名称

气体质量流量控制器WGL-5180(模拟)

基本型号

WGL-5180

WGL-5180M

流量规格①(N2标定)

0~10,50,100,500 SCCM

0~15,20,25,30 SLM

调节阀类型

常闭式

量程比

(2~100)%F.S.或50:1

流量分辨率

0.1%F.S.

准确

±1%F.S. (≤15SLM)

±2%F.S. (>15SLM)

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤2sec

≤1sec

工作压差范围

0.05~0.3MPa (<2SLM)

0.1~0.3MPa (2SLM-10SLM)

0.15~0.3MPa(>10SLM)

<2MPa

最大耐压

2MPa

工作环境温度

5~45℃

电缆接头

DB15pin(针形)

输入输出信号

0~+5.00V(输入阻抗大于100kΩ,输 出电流不大于3mA)

0~+5.00V(无输入信号,输出电流不 大于3mA)

供电电源要求

+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)

+15VDC(50mA),-15VDC(50mA)

对外单点泄漏率

≤1×10-8Pa·m³/S(He)

介质接触材质

316,316L,密封填料

密封材料

氯丁橡胶CR,氟橡胶 FKM

管道接头尺寸

VCR型接头:1/4"

双卡套型接头:1/4"、3/8"或φ6、φ10 mm

内螺纹:9/16-18UNF内螺纹(深度<8mm)

净重量

1.00kg

0.8kg

注1;满量程流量不限于表中列出的流量规格,可以在20SLM~30SLM范围内任选,例如23SLM。


产品尺寸:

气体MFC


接线定义:  

气体MFC



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